如大規模集成電路的生產工藝中的各種薄膜，電路集成程度的不斷提高，薄膜厚度的任何細微改動，對集成電路的功用都會發作直接的影響。除此之外，偏光片離型膜力學功用，透光功用，磁功用，熱導率，表面規劃等都與厚度有著接近的聯絡。

在我們對能準確測量薄膜厚度方法的火燎需要下，相應地，發作了許多測量薄膜厚度的方案。在往常需要不是很嚴峻的條件一般選用游標卡尺一東西來檢驗PET薄膜的厚度；而在需要高精密度的情況下如今則選用光學方法，它相對于其它類方法具有快速、準確和不損傷薄膜等利益。

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